一、 產品用途：
廣泛應用于半導體，電子光電集成、精密陶瓷、冶金、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做無氧膠固化、粉末焙燒、材料表面處理、高校、科研院所、做真空氣氛燒結、氣氛還原、排膠、CVD實驗、真空退火等。
二、設備技術規格：
設備名稱：高溫無氧潔凈烘箱 型號：TS- WY 品牌：AEGMAT
1.技術參數：
1）溫度范圍：RT+25~200℃ 可根據客戶定制
2）溫度均勻性：150℃±3℃，200度±4℃（空載測試）
5）控溫精度：±0.3℃
6）溫度波動度：±1℃ （空載，恒溫狀態下測試）
7）氧含量： ＜100PPM
8）排氧時間：<10min
9）加熱方式：內部熱風循環加熱
10）升溫速率：每分鐘6-7度，降溫速率通過降溫系統可實現程序降溫
11）內腔尺寸：W600xD500xH400
13）箱體結構：單門結構
14）降溫方式：強制·風冷+輔助氣冷＋水冷.配置氮氣比例系統，可程序降溫
15）電源功耗：AC 380V 50HZ ，單個箱體 4KW
16潔凈度檢測方法：≤50ea@≥0.3μm空氣采樣流量：2.83L/min，0.3μm60以下，0.5μm50以下
2.箱體結構：
1）工作室材質：采用1.5mm厚SUS304#鏡面潔凈不銹鋼板，氬弧焊滿燒工藝，外壁做槽型加強結構，確保箱體牢固，高溫、不發生形變，內部光亮平整，密封性良好。
2）外箱材質：采用1.5mm拉絲不銹鋼，
3）加強結構：箱體底部及中間骨架采用槽鋼加強，確保箱體結構強度及承重性良好。
4）保溫材料：采用氧化鋁陶瓷纖維耐高溫防火阻燃材料填充，保溫層厚度80-100mm，箱體表面溫度<45℃
5）密封條：采用耐高溫一體成型硅膠材質，連續耐溫260℃以上，抗老化，密封性良好，長期耐高溫。
6）把手鉸鏈：采用不銹鋼拉手，鋅合金高承重機械鉸鏈，易開易關，密封良好。
7），如果客戶要求溫度高，門口配備水冷門框，內部設計降溫風道倉，水冷盤管降溫處理
3.控制系統
3.1溫度控制系統：
采用不銹鋼加熱管加熱方式，，實現工作腔室內均勻升溫。可連續使用2-3萬小時
1）溫控模塊：采用西門子PLC，7寸觸摸屏人機界面，歐姆龍溫度控制器，可編程控制，帶曲線界面，數據導出，485通訊接口，控溫精度0.3級，智能PID演算，傳感器斷線警報，AT自整定，超溫抑制，斷電記憶功能，控溫精準，穩定性好
2）傳感器：采用A級PT100鉑金電阻傳感器，精度±0.15%，耐高溫抗干擾屏蔽信號線，溫度精準，反饋靈敏
3）接觸器品牌: 施耐德
4）執行組件：AD+SSR固態繼電器，脈沖加熱。
5）排氣口：直徑60mm .1個，風閥執行器，降溫階段閥門開啟，風道倉排氣口一個，直徑100mm
1） 鼓風電機：采用750W大功率三相耐高溫離心散熱風機，1臺
2） 過濾系統：高效百級過濾器每個箱體1個，0.1μ顆粒過濾效率99.99%,
3） 支持標準的SECS/GEM通訊協議，并支持EAP連接，配有MAS接口
5.安全保護系統：
1）漏電保護
2）接地保護
3）過載、過流保護
4）超溫保護
5）獨立限溫
6）工作狀態指示（運行-綠色，待機-黃色，故障-紅色）
7.電器組件：
所有配套電器均采用符合國際安全認證的國際一線大廠知名品牌正規渠道正品，確保設備安全可靠，運行穩定。
8、使用環境要求：
1）環境條件：溫度 5～40℃；濕度 ≤85%R.H；
2）電源：AC380V50HZ 三相五線
3）無強烈振動，無強磁場影響，無腐蝕性氣體；
4）環境氣壓：86～106Kpa；
5）箱體周圍應留有500mm的空間供產品安裝、檢修使用
一、 產品用途：
廣泛應用于半導體，電子光電集成、精密陶瓷、冶金、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做無氧膠固化、粉末焙燒、材料表面處理、高校、科研院所、做真空氣氛燒結、氣氛還原、排膠、CVD實驗、真空退火等。
二、設備技術規格：
設備名稱：高溫無氧潔凈烘箱 型號：TS- WY 品牌：AEGMAT
1.技術參數：
1）溫度范圍：RT+25~200℃ 可根據客戶定制
2）溫度均勻性：150℃±3℃，200度±4℃（空載測試）
5）控溫精度：±0.3℃
6）溫度波動度：±1℃ （空載，恒溫狀態下測試）
7）氧含量： ＜100PPM
8）排氧時間：<10min
9）加熱方式：內部熱風循環加熱
10）升溫速率：每分鐘6-7度，降溫速率通過降溫系統可實現程序降溫
11）內腔尺寸：W600xD500xH400
13）箱體結構：單門結構
14）降溫方式：強制·風冷+輔助氣冷＋水冷.配置氮氣比例系統，可程序降溫
15）電源功耗：AC 380V 50HZ ，單個箱體 4KW
16潔凈度檢測方法：≤50ea@≥0.3μm空氣采樣流量：2.83L/min，0.3μm60以下，0.5μm50以下
2.箱體結構：
1）工作室材質：采用1.5mm厚SUS304#鏡面潔凈不銹鋼板，氬弧焊滿燒工藝，外壁做槽型加強結構，確保箱體牢固，高溫、不發生形變，內部光亮平整，密封性良好。
2）外箱材質：采用1.5mm拉絲不銹鋼，
3）加強結構：箱體底部及中間骨架采用槽鋼加強，確保箱體結構強度及承重性良好。
4）保溫材料：采用氧化鋁陶瓷纖維耐高溫防火阻燃材料填充，保溫層厚度80-100mm，箱體表面溫度<45℃
5）密封條：采用耐高溫一體成型硅膠材質，連續耐溫260℃以上，抗老化，密封性良好，長期耐高溫。
6）把手鉸鏈：采用不銹鋼拉手，鋅合金高承重機械鉸鏈，易開易關，密封良好。
7），如果客戶要求溫度高，門口配備水冷門框，內部設計降溫風道倉，水冷盤管降溫處理
3.控制系統
3.1溫度控制系統：
采用不銹鋼加熱管加熱方式，，實現工作腔室內均勻升溫。可連續使用2-3萬小時
1）溫控模塊：采用西門子PLC，7寸觸摸屏人機界面，歐姆龍溫度控制器，可編程控制，帶曲線界面，數據導出，485通訊接口，控溫精度0.3級，智能PID演算，傳感器斷線警報，AT自整定，超溫抑制，斷電記憶功能，控溫精準，穩定性好
2）傳感器：采用A級PT100鉑金電阻傳感器，精度±0.15%，耐高溫抗干擾屏蔽信號線，溫度精準，反饋靈敏
3）接觸器品牌: 施耐德
4）執行組件：AD+SSR固態繼電器，脈沖加熱。
5）排氣口：直徑60mm .1個，風閥執行器，降溫階段閥門開啟，風道倉排氣口一個，直徑100mm
1） 鼓風電機：采用750W大功率三相耐高溫離心散熱風機，1臺
2） 過濾系統：高效百級過濾器每個箱體1個，0.1μ顆粒過濾效率99.99%,
3） 支持標準的SECS/GEM通訊協議，并支持EAP連接，配有MAS接口
5.安全保護系統：
1）漏電保護
2）接地保護
3）過載、過流保護
4）超溫保護
5）獨立限溫
6）工作狀態指示（運行-綠色，待機-黃色，故障-紅色）
7.電器組件：
所有配套電器均采用符合國際安全認證的國際一線大廠知名品牌正規渠道正品，確保設備安全可靠，運行穩定。
8、使用環境要求：
1）環境條件：溫度 5～40℃；濕度 ≤85%R.H；
2）電源：AC380V50HZ 三相五線
3）無強烈振動，無強磁場影響，無腐蝕性氣體；
4）環境氣壓：86～106Kpa；
5）箱體周圍應留有500mm的空間供產品安裝、檢修使用
